鍍膜機開總電源,真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延
1. 開水泵、氣源。
2. 開總電源。
3. 開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開機械泵、預抽,開渦輪分子泵電源、并啟動,真空計開關換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數到達250以后,關預抽,開前級泵和高真空閥繼續抽真空,抽真空到達程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能打開電子槍電源。